韩国CoolS攻克TGV金属化卡点,研发CFMI与SPEA技术 微头条
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9月7日,据财闻海外资讯,韩国CoolS指出,玻璃通孔TGV金属化工艺是玻璃基板量产的核心卡点。SeWaRe边缘崩裂、界面剥离等典型可靠性问题,根源均在于玻璃与铜结合不充分。CoolS代表赵振贤4日表示,两种材料必须形成化学性质稳定的结合界面,不能仅物理贴合,否则后续开展化学机械抛光(CMP)、增层(Build-up)等工序会产生裂纹、基板翘曲。SeWaRe指完成增层工艺后切割基板时,玻璃边缘发生崩角、剥离脱落的现象。
为提升结合力,CoolS开发基于聚多巴胺(PDA)的CFMI连续功能金属化界面技术,在通孔内壁构建PDA功能界面,利用其粘附玻璃与捕获铜离子双重特性,实现玻璃与铜连续结合。
此外,公司攻克通孔无空洞填充难题,自研SPEA自扩展电极架构,电极从通孔底部向上逐步扩展,结合自下而上与中心填充工艺,避免通孔上口提前封闭产生空腔缺陷。团队还在研发纳米气泡流体共振技术,依靠特定频率振动加速电镀液交换,可将原本12-24小时的填铜时间压缩至30分钟-1小时。
该技术由CoolS与韩国科学技术研究院(KIST)联合研发。目前已制备样品:通孔侧壁形成PDA界面、底部接合铜箔。应韩国本土玻璃基板厂商需求,样品已移交,等待开展技术评估。赵振贤表示,TGV金属化平台第一优先级是解决可靠性,第二是实现量产。
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